[实用新型]用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置有效
| 申请号： | 201320098809.3 | 申请日： | 2013-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN203140201U | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 黄保诚;江明俊;黄国政;简谷卫;吴清吉 | 申请（专利权）人： | 北儒精密股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B9/03 | 分类号： | B05B9/03;B05B15/06;B05B12/08 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 张雅军;杨建君 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置，包含：一个恒温基座、数个安装在该恒温基座上的雾化模组，以及一个恒温控制机构。该恒温基座包括一个供所述雾化模组架设的架设面，以及一条控温流道，而该恒温控制机构提供该恒温基座的控温流道一个循环流体，使该恒温基座维持在恒温状态。利用在该恒温基座内部设置该控温流道，以及该恒温控制机构提供该控温流道恒温的流体，可以提高镀膜沉积的品质。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 雾化 前驱 恒温 装置 | ||
【主权项】：
一种用于雾化电浆前驱物的恒温式雾化装置，包含：一个包括一个架设面的恒温基座，以及数个安装在该恒温基座的架设面上的雾化模组；其特征在于：该恒温基座还包括一条控温流道，而该雾化装置还包含一个提供该恒温基座的控温流道一个循环流体，并使该恒温基座维持在恒温状态的恒温控制机构。
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