[实用新型]一种HCl尾气中氯硅烷去除系统有效
| 申请号： | 201320104283.5 | 申请日： | 2013-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN203222476U | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 游鹏程;王启海;陈长海;胡有平;陈义龙 | 申请（专利权）人： | 江西景德半导体新材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/07 | 分类号： | C01B7/07 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 333000 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种HCl尾气中氯硅烷去除系统，包括洗涤罐（3）、文丘里洗涤器（2）、液位计（5）、泵（9）、过滤器（8）、HCl尾气输入管道（1）、饱和浓酸输入管道（6），饱和浓酸循环管道（10）、饱和浓酸输出管道（7）、HCl气体排出管道（4）、固体颗粒排出管道（11），本系统利用饱和浓酸经文丘里洗涤器循环洗涤HCl尾气，将HCl尾气中氯硅烷水解，避免了HCl气体将固体水解物带入HCl吸收装置，极大降低了酸中固体杂质的含量，该系统既简化了生产工艺，又提高了生产效率，因此该系统具有广阔的市场前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 hcl 尾气 硅烷 去除 系统 | ||
【主权项】：
一种HCl尾气中氯硅烷去除系统，包括洗涤罐（3）、文丘里洗涤器（2）、液位计（5）、泵（9）、过滤器（8）、HCl尾气输入管道（1）、饱和浓酸输入管道（6），饱和浓酸循环管道（10）、饱和浓酸输出管道（7）、HCl气体排出管道（4）、固体颗粒排出管道（11），其特征在于：所述洗涤罐（3）顶部设置有文丘里洗涤器（2）和HCl气体排出管道（4），侧部设置有液位计（5），底部设置有饱和浓酸输出管道（7），所述文丘里洗涤器（2）与HCl尾气输入管道（1）和饱和浓酸循环管道（10）相连接，所述饱和浓酸循环管道（10）上设置有泵（9）、过滤器（8）和固体颗粒排出管道（11），所述饱和浓酸输出管道（7）与饱和浓酸循环管道（10）和饱和浓酸输入管道（6）相连接。
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