[实用新型]用于OLED镀膜的蒸镀罩有效

专利信息
申请号: 201320107431.9 申请日: 2013-03-11
公开(公告)号: CN203128642U 公开(公告)日: 2013-08-14
发明(设计)人: 唐军;钱超 申请(专利权)人: 钱超
主分类号: C23C14/04 分类号: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 210000 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种用于OLED镀膜的蒸镀罩,所述蒸镀罩的一面为ITO接触面,另一面为镀膜面,所述蒸镀罩上设有多个狭长沟槽,其中,所述狭长沟槽包括两个首位贯穿相连且开口一致的八字形沟槽,所述八字形沟槽贯穿整个蒸镀罩,所述ITO接触面上的沟槽宽度小于镀膜面上的沟槽宽度。本实用新型提供的用于OLED镀膜的蒸镀罩,通过在蒸镀罩上设置首位贯穿相连的八字形沟槽,不但能够避免镀膜时造成有机材料颗粒的遮挡,提高蒸镀层的均匀性和蒸镀质量,而且结构简单,易于蚀刻加工并能精确控制开口锥角和高度。
搜索关键词: 用于 oled 镀膜 蒸镀罩
【主权项】:
一种用于OLED镀膜的蒸镀罩,所述蒸镀罩的一面为ITO接触面(4),另一面为镀膜面(5),所述蒸镀罩上设有多个狭长沟槽,其特征在于,所述狭长沟槽包括两个首位贯穿相连且开口一致的八字形沟槽,所述八字形沟槽贯穿整个蒸镀罩,所述ITO接触面(4)上的沟槽宽度小于镀膜面(5)上的沟槽宽度。
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