[实用新型]用于OLED镀膜的蒸镀罩有效
申请号: | 201320107431.9 | 申请日: | 2013-03-11 |
公开(公告)号: | CN203128642U | 公开(公告)日: | 2013-08-14 |
发明(设计)人: | 唐军;钱超 | 申请(专利权)人: | 钱超 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 210000 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种用于OLED镀膜的蒸镀罩,所述蒸镀罩的一面为ITO接触面,另一面为镀膜面,所述蒸镀罩上设有多个狭长沟槽,其中,所述狭长沟槽包括两个首位贯穿相连且开口一致的八字形沟槽,所述八字形沟槽贯穿整个蒸镀罩,所述ITO接触面上的沟槽宽度小于镀膜面上的沟槽宽度。本实用新型提供的用于OLED镀膜的蒸镀罩,通过在蒸镀罩上设置首位贯穿相连的八字形沟槽,不但能够避免镀膜时造成有机材料颗粒的遮挡,提高蒸镀层的均匀性和蒸镀质量,而且结构简单,易于蚀刻加工并能精确控制开口锥角和高度。 | ||
搜索关键词: | 用于 oled 镀膜 蒸镀罩 | ||
【主权项】:
一种用于OLED镀膜的蒸镀罩,所述蒸镀罩的一面为ITO接触面(4),另一面为镀膜面(5),所述蒸镀罩上设有多个狭长沟槽,其特征在于,所述狭长沟槽包括两个首位贯穿相连且开口一致的八字形沟槽,所述八字形沟槽贯穿整个蒸镀罩,所述ITO接触面(4)上的沟槽宽度小于镀膜面(5)上的沟槽宽度。
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