[实用新型]一种直拉单晶硅用复合式导流筒有效

专利信息
申请号: 201320109462.8 申请日: 2013-02-20
公开(公告)号: CN203065627U 公开(公告)日: 2013-07-17
发明(设计)人: 张忠安;张忠华 申请(专利权)人: 江西豪安能源科技有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 330000 *** 国省代码: 江西;36
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 实用新型涉及一种直拉单晶硅用复合式导流筒,该导流筒是在石墨导流筒内增加一层薄钼导流筒,薄钼导流筒外壁紧贴石墨导流筒内壁。该复合式导流筒增加了热场的温度梯度从而达到增加拉晶速度的目的。该薄钼导流筒重量是纯钼导流筒的1/20,因此该装置改造是纯钼价格的1/20,大大降低了改造成本,同时该使用该种复合导流筒,直拉单晶的拉速提高15%,单炉节约拉晶时间6-8小时,平节约耗电420KWh.与目前使用的石墨导流筒相比,不仅大大提高晶体生长速度,同事也大大降低了电耗,对降低成本,节能降耗有着重要意义。
搜索关键词: 一种 单晶硅 复合 导流
【主权项】:
一种直拉单晶硅用复合式导流筒,其特征在于,该导流筒是在石墨导流筒内增加一层薄钼导流筒,薄钼导流筒外壁紧贴石墨导流筒内壁,薄钼导流筒厚度为0.8‑1mm。
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