[实用新型]带在线检测的光学元件激光预处理及修复的装置

摘要

本实用新型公开了一种带在线检测的光学元件激光预处理及修复的装置，包括有激光预处理及修复系统和在线检测系统，激光预处理及修复系统包括有相对光学元件表面设置的预处理光源或修复光源、设置于预处理光源或修复光源后端且位于光学元件表面前端的第一光开关和光能量调整装置，在线检测系统包括有泵浦光源、设置于泵浦光源后端且位于光学元件产生荧光和红外辐射的表面之间的第二光开关和光调制装置、荧光成像检测系统或红外成像检测系统。本实用新型在激光处理或激光修复系统中引入非接触式在线检测系统，用于对光学元件的激光处理区域或者激光修复区域进行在线检测，确保处理和修复达到预期效果，大大简化了大口径光学元件的加工制作过程。

主权项

带有在线检测的光学元件激光预处理及修复的装置，包括有激光预处理及修复系统，所述的激光预处理及修复系统包括有相对光学元件表面设置的预处理光源或修复光源，其特征在于：所述的带有在线检测的光学元件激光预处理及修复装置还包括有在线检测系统；所述的激光预处理及修复系统还包括有设置于预处理光源或修复光源后端且位于光学元件表面前端的第一光开关和光能量调整装置，所述的在线检测系统包括有用于激发光学元件表面荧光和红外辐射的泵浦光源、设置于泵浦光源后端且位于光学元件产生荧光和红外辐射的表面之间的第二光开关和光调制装置、用于获得荧光成像图像的荧光成像检测系统或用于获得红外成像图像的红外成像检测系统。