[实用新型]一种药液泄漏的检测和承接装置

摘要

本实用新型公开了一种药液泄漏的检测和承接装置，属于半导体制造、清洗和湿刻技术领域。其包括：位于设备底部的底板；位于所述底板上侧的操作板；所述操作板成型有至少一个漏孔；所述底板和所述操作板之间设置至少一个导流隔板，所述操作板、所述导流隔板、所述底板以及设备侧壁围成药液汇集槽，所述药液汇集槽的底部板面和所述导流隔板在所述底板的投影面与所述操作板在所述底板的投影面重合。这种实现方式只是在原有生产线上进行增加操作板和导流隔板等简单的改造，提高了药液泄漏检测灵敏度，防止漏液污染部件和环境。

主权项

一种药液泄漏的检测和承接装置，其特征在于：其包括：位于设备底部的底板（1）；位于所述底板（1）上侧的操作板（3）；所述操作板（3）成型有至少一个漏孔；所述底板（1）和所述操作板（3）之间设置至少一个导流隔板（2），所述操作板（3）、所述导流隔板（2）、所述底板（1）以及设备侧壁围成药液汇集槽（7），所述药液汇集槽（7）的底部板面和所述导流隔板（2）在所述底板（1）的投影面与所述操作板（3）在所述底板（1）的投影面重合。