[实用新型]电子束加工设备的栅偏电源及其应用结构

摘要

本实用新型公开一种电子束加工设备的栅偏电源及其应用结构，所述栅偏电源采用调幅调压逆变技术，使得栅偏电压与其幅值控制信号几乎同步调幅；采用两个单元并联运行的方式，有效消除逆变换流过程对栅偏电压输出波形的影响；在逆变器与隔离变压器之间，设置具有共模电感的滤波器，从而有效抑制了来自高压端的共模冲击信号；新的栅偏电源与加速电源、阴极电源及电子枪的连接方法，在聚束极放电时能够抑制阴极发射不受控电子。

主权项

电子束加工设备的栅偏电源，其特征在于：主要由输入整流滤波单元（1）、A单元、B单元（8）、输出滤波电容（6）、负载电阻（7）、逆变波形发生器（9）、栅偏电压调节器（10）、电子束流调节器（11）和中央控制器（12）组成；其中A单元和B单元的结构和参数相一致，即A单元和B单元各包括1个逆变器（2）、1个滤波器（3）、1个隔离变压器（4）和1个输出整流桥（5）；在每个单元中，逆变器（2）的输出端连接滤波器（3）的输入端，滤波器（3）的输出端连接隔离变压器（4）的初级绕组，隔离变压器（4）的次级绕组接至输出整流桥（5）的交流输入端；输入整流滤波单元（1）的输入端连接外部输入的两组交流电，输入整流滤波单元（1）输出的正负直流电源的公共端与大地相接，输出的正极端同时接至A、B两单元逆变器（2）中N型功率管的集电极，输出的负极端同时接至A、B两单元逆变器（2）中P型功率管的集电极；A、B两个单元的输出整流桥（5）的输出端并联后作为栅偏电源的输出，输出滤波电容（6）和负载电阻（7）并联后再并接在栅偏电源的输出端，栅偏电源输出正极端与加速电源的负极相接并接至电子枪的阴极（14），栅偏电源输出负极与电子枪的聚束极（15）相接；逆变波形发生器（9）产生两路波形固定的梯形波信号，逆变波形发生器（9）的2个输出端分别连接A、B两单元逆变器（2）的一个输入控制端；每路梯形波的正负半波的幅值相等、波形对称、平波部分≥90°；两路梯形波幅值相等、波形一致、并共用一个时序脉冲且相位差为90°；中央控制器（12）完成整台电子束加工设备的总控工作，并输出栅偏电压预给定信号和电子束流给定信号；电子束流调节器（11）为比例‑积分调节器，电子束流调节器（11）的2个输入端分别连接中央控制器（12）的电子束流给定信号输出端和电子束流取样电阻的输出端；栅偏电压调节器（10）为比例调节器，栅偏电压调节器（10）的2个输入端分别连接中央控制器（12）的栅偏电压预给定信号输出端和电子束流调节器（11）的输出端；栅偏电压调节器（10）的输出端同时连接A、B两单元逆变器（2）的另一个输入控制端。