[实用新型]一种单晶生长炉的加热体结构有效
| 申请号： | 201320132964.2 | 申请日： | 2013-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN203247337U | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 管文礼 | 申请（专利权）人： | 管文礼 |
| 主分类号： | C30B17/00 | 分类号： | C30B17/00;C30B29/20 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 刘喜莲 |
| 地址： | 222000 江苏省连云港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型是一种单晶生长炉的加热体结构，包括主加热装置和副加热装置，所述的主加热装置由若干U型主加热棒和主电极汇流排组成的鸟笼式结构，每根U型主加热棒由钨棒弯曲形成，U型主加热棒的上端与主电极汇流排连接；所述的副加热装置套设在主加热装置的下部外侧，副加热装置包括由上向下设置的2-8圈副加热棒，副加热棒的端部通过加热棒夹紧块连接在副电极汇流排上，副电极汇流排上设有与副加热电极相连的电极座连接孔。本实用新型通过两个独立的加热装置，形成可调的径向和轴向温度梯度的合成热场，满足在长晶过程中所需要的径向和轴向温度梯度与动态固液界面位置的匹配要求，有效的提高热场的有效可控性和提高晶体的成晶率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生长 加热 结构 | ||
【主权项】：
一种单晶生长炉的加热体结构，其特征在于：包括主加热装置和副加热装置，所述的主加热装置由若干U型主加热棒和主电极汇流排组成的鸟笼式结构，每根U型主加热棒由钨棒弯曲形成，U型主加热棒的上端与主电极汇流排连接；所述的副加热装置套设在主加热装置的下部外侧，副加热装置包括由上向下设置的2‑8圈副加热棒，副加热棒的端部通过加热棒夹紧块连接在副电极汇流排上，副电极汇流排上设有与副加热电极相连的电极座连接孔。
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