[实用新型]基板清洁装置有效
| 申请号： | 201320137274.6 | 申请日： | 2013-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN203209401U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 吴桂江;汪建国 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/04 | 分类号： | B08B11/04 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 苗燕 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种基板清洁装置包括第一清洁部、第一清洁带和第一清洁带输送单元，所述第一清洁部压触所述第一清洁带，所述第一清洁带输送单元输送所述第一清洁带，所述第一清洁部包括第一主体与第一清洁头，所述第一主体具有第一端面，所述第一清洁头设置于所述第一端面，并具有第一平面；所述第一清洁带部分地抵靠于所述第一平面。此基板清洁装置具有较佳的清洁效果，从而能有效提升基板后续制程的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
【主权项】：
一种基板清洁装置，其包括第一清洁部、第一清洁带和第一清洁带输送单元，所述第一清洁部压触所述第一清洁带，所述第一清洁带输送单元输送所述第一清洁带，其特征在于：所述第一清洁部包括第一主体与第一清洁头，所述第一主体具有第一端面，所述第一清洁头设置于所述第一端面，并具有第一平面；所述第一清洁带部分地抵靠于所述第一平面。
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