[实用新型]真空镀膜室用的手动式视镜机构有效
| 申请号： | 201320142271.1 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203212637U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种真空镀膜室用的手动式视镜机构，包括挡板轴、挡板座、挡板和多个隔热板，挡板轴穿过视镜玻璃中心并伸入视镜腔内，挡板轴通过挡板座固定于视镜玻璃上，位于视镜腔内的挡板轴端部设置挡板，挡板与视镜玻璃之间设置多个隔热板，多个隔热板并列固定于挡板轴上；任意相邻的两个隔热板之间设有陶瓷隔套，隔热板与挡板之间也设有陶瓷隔套。本手动式视镜机构结构简单，通过在视镜腔内设置挡板轴及挡板，可有效减少弧源对视镜玻璃的污染，通过隔热板和陶瓷隔套降低视镜玻璃所承受的温度，从而较好地保障视镜玻璃的性能，视镜机构也可应用于更高工作温度（高达500～800℃）的真空镀膜室。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 手动式 机构 | ||
【主权项】：
真空镀膜室用的手动式视镜机构，其特征在于，包括挡板轴、挡板座、挡板和多个隔热板，挡板轴穿过视镜玻璃中心并伸入视镜腔内，挡板轴通过挡板座固定于视镜玻璃上，位于视镜腔内的挡板轴端部设置挡板，挡板与视镜玻璃之间设置多个隔热板，多个隔热板并列固定于挡板轴上；任意相邻的两个隔热板之间设有陶瓷隔套，隔热板与挡板之间也设有陶瓷隔套。
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