[实用新型]蒸发镀膜机用的离子轰击组件有效
| 申请号： | 201320142571.X | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN203212628U | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请（专利权）人： | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 裘晖 |
| 地址： | 526060 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种蒸发镀膜机用的离子轰击组件，包括防护套、绝缘座和防护罩，绝缘座套于电极输入棒外周，防护套设于绝缘座上部的外周，防护罩设于电极输入棒底部并套于绝缘座外周。本蒸发镀膜机用的离子轰击组件是在传统离子轰击组件的基础上进行改进，对其结构进行简化，使其制造简单，安装方便，制造成本也较低。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 镀膜 离子 轰击 组件 | ||
【主权项】：
蒸发镀膜机用的离子轰击组件，其特征在于，包括防护套、绝缘座和防护罩，绝缘座套于电极输入棒外周，防护套设于绝缘座上部的外周，防护罩设于电极输入棒底部并套于绝缘座外周。
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