[实用新型]一种分离机加膜过滤并能除水的硅片切割废砂浆回收设备有效
申请号: | 201320150076.3 | 申请日: | 2013-03-28 |
公开(公告)号: | CN203200231U | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 张磊;刘铁英 | 申请(专利权)人: | 张磊;刘铁英 |
主分类号: | C10M175/00 | 分类号: | C10M175/00 |
代理公司: | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人: | 任玉龙 |
地址: | 110000 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种分离机加膜过滤并能除水的硅片切割废砂浆回收设备,包括模块化单台分离机,分离液罐体,压滤机,二次回收液罐,除水设备;其中:模块化单台分离机的出液口通过管道与分离液罐体的进口连接,分离液罐体的出口通过管道与压滤机的进口连接,压滤机的出口通过管道与二次回收液罐连接,二次回收液罐通过管路与除水设备连接。所述的压滤机内部带有膜过滤装置。本实用新型的优点:用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆,同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。分离效果好,小颗粒杂质去除率达95%以上,回收效率高,回收液的回收率达90%以上,解决了回收砂浆中水含量高的问题。 | ||
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【主权项】:
一种分离机加膜过滤并能除水的硅片切割废砂浆回收设备,其特征在于:所述的分离机加膜过滤并能除水的硅片切割废砂浆回收设备,包括模块化单台分离机(1),分离液罐体(2),压滤机(3),二次回收液罐(4),除水设备(5);其中:模块化单台分离机(1)的出液口通过管道与分离液罐体(2)的进口连接,分离液罐体(2)的出口通过管道与压滤机(3)的进口连接,压滤机(3)的出口通过管道与二次回收液罐(4)连接,二次回收液罐(4)通过管路与除水设备(5)连接。
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