[实用新型]一种分离机加膜过滤并能除水的硅片切割废砂浆回收设备有效

专利信息
申请号: 201320150076.3 申请日: 2013-03-28
公开(公告)号: CN203200231U 公开(公告)日: 2013-09-18
发明(设计)人: 张磊;刘铁英 申请(专利权)人: 张磊;刘铁英
主分类号: C10M175/00 分类号: C10M175/00
代理公司: 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 代理人: 任玉龙
地址: 110000 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 一种分离机加膜过滤并能除水的硅片切割废砂浆回收设备,包括模块化单台分离机,分离液罐体,压滤机,二次回收液罐,除水设备;其中:模块化单台分离机的出液口通过管道与分离液罐体的进口连接,分离液罐体的出口通过管道与压滤机的进口连接,压滤机的出口通过管道与二次回收液罐连接,二次回收液罐通过管路与除水设备连接。所述的压滤机内部带有膜过滤装置。本实用新型的优点:用于分离和回收硅片切割工艺中所产生的废砂浆,同时亦适用于半导体芯片、水晶、钻石等行业的废液回收利用。分离效果好,小颗粒杂质去除率达95%以上,回收效率高,回收液的回收率达90%以上,解决了回收砂浆中水含量高的问题。
搜索关键词: 一种 分离 机加膜 过滤 硅片 切割 砂浆 回收 设备
【主权项】:
一种分离机加膜过滤并能除水的硅片切割废砂浆回收设备,其特征在于:所述的分离机加膜过滤并能除水的硅片切割废砂浆回收设备,包括模块化单台分离机(1),分离液罐体(2),压滤机(3),二次回收液罐(4),除水设备(5);其中:模块化单台分离机(1)的出液口通过管道与分离液罐体(2)的进口连接,分离液罐体(2)的出口通过管道与压滤机(3)的进口连接,压滤机(3)的出口通过管道与二次回收液罐(4)连接,二次回收液罐(4)通过管路与除水设备(5)连接。
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