[实用新型]一种用于晶片的超声波清洗装置有效
| 申请号： | 201320162031.8 | 申请日： | 2013-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN203196939U | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 崔景涛;梁浩;方建雄;李呼相;吴鲁 | 申请（专利权）人： | 苏州海铂晶体有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李凤娇 |
| 地址： | 215437 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶片的超声波清洗装置，包括超声波清洗槽和固定在清洗槽上的提拉转片装置，所述提拉转片装置包括与清洗槽两侧固定连接的纵向导向柱、提升支架和片盒，所述提升支架两侧穿设在纵向导向柱上，所述片盒固定在提升支架下端，片盒下方还设有转轴。该清洗装置能同时上下提拉和转动蓝宝石晶片，使晶片相对于超声波波源和片盒做相对运动，有效解决因驻波和晶片表面清洗死角产生的晶片表面色差问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶片 超声波 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种用于晶片的超声波清洗装置，包括超声波清洗槽(1)和固定在超声波清洗槽(1)上的提拉转片装置，其特征在于：所述提拉转片装置包括与超声波清洗槽(1)两侧固定连接的纵向导向柱(2)、提升支架(3)和片盒(4)，所述提升支架(3)两侧穿设在纵向导向柱(2)上，所述片盒(4)固定在提升支架(3)下端，片盒(4)下方还设有转轴(5)。
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