[实用新型]高精度位置检测装置

摘要

本实用新型公开一种高精度位置检测装置，属于光学检测领域。该装置包括：短相干光源、准直透镜、起偏器、1/2波片、分光器、全反射镜、耦合透镜、末端反射式光纤分束器、聚焦透镜、检偏器、传感器、两个1/4波片和变焦透镜，各部件形成参考光路和测量光路。参考光路中不同分支的光程差是固定的并且不相同，假设测试范围为L，参考光路包括n支，为了测试L长度的光学表面间距，可动镜片只需要移动L/n的距离，通过分析可动镜片位置以及干涉条纹的中心位置，就可以准确知道被测系统L范围中包括不同光学表面的位置。该检查装置具有检测范围大且可动镜片移动范围小，结构简单，测量精度高的优点。

主权项

一种高精度位置检测装置，其特征在于，包括：短相干光源、准直透镜、起偏器、1/2波片、分光器、全反射镜、耦合透镜、末端反射式光纤分束器、聚焦透镜、检偏器、传感器、两个1/4波片和变焦透镜；其中，所述短相干光源、准直透镜、起偏器、1/2波片、分光器、第一1/4波片和全反射镜的入射端、全反射镜的出射端、耦合透镜和末端反射式光纤分束器排列成第一光路；所述聚焦透镜、第二1/4波片、所述分光器、检偏器、变焦透镜和传感器排列成第二光路；所述第二光路与第一光路经所述分光器交汇，所述第二光路与第一光路中的短相干光源、准直透镜、起偏器、1/2波片、分光器、第一1/4波片和全反射镜的入射端所在的光路垂直；所述全反射镜能在所述第一光路中移动位置。