[实用新型]鼓形镀膜机有效
申请号: | 201320177328.1 | 申请日: | 2013-04-10 |
公开(公告)号: | CN203187746U | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 黄苏育 | 申请(专利权)人: | 黄苏育 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/50 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 325600 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种鼓形镀膜机,包括溅射枪支撑台和工作支撑台,所述的溅射枪支撑台上设有溅射枪,所述的工作支撑台设有可转动的鼓形支架,鼓形支架连接驱动器,溅射枪位于鼓形支架的中心;所述的鼓形支架通过支架杆将鼓形支架的侧面分成若干基板放置区。采用了上述结构之后,在加工膜系要求不高的膜层结构时,能够提高某系膜层的产能3-4倍,并且能够提高其生产质量,降低了企业的出厂成本。 | ||
搜索关键词: | 镀膜 | ||
【主权项】:
一种鼓形镀膜机,包括溅射枪支撑台(1)和工作支撑台(7),其特征是:所述的溅射枪支撑台(1)上设有溅射枪(2),所述的工作支撑台(7)设有可转动的鼓形支架(4),鼓形支架(4)连接驱动器(6),溅射枪(2)位于鼓形支架(4)的中心。
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