[实用新型]一种设有中心电极的真空镀膜室有效
| 申请号： | 201320178475.0 | 申请日： | 2013-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN203200334U | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 李灿民 | 申请（专利权）人： | 合肥永信信息产业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜领域，具体地说是一种对各种绝缘材质和导电材质的工件内外表面进行镀膜的等离子镀膜设备。一种设有中心电极的真空镀膜室，镀膜室由金属网罩、金属棒、玻璃砖支架、工件、铝箔组成，其特征在于，金属网罩内设有一根与镀膜室内壁保持电导通的中心电极，所述中心电极与金属网罩绝缘设置。本实用新型中心电极的作用是将金属网罩内的残余电子传导到真空罐内壁上，避免电荷累积产生的打火；电子逃逸口可以显著降低镀膜过程中工件和金属网罩、玻璃砖、铝箔上的电荷积累，它可以顺利将电子从金属网罩内放出，从而减少了打火次数。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 设有 中心 电极 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种设有中心电极的真空镀膜室，镀膜室由金属网罩、金属棒、玻璃砖支架、工件、铝箔组成，其特征在于，金属网罩内设有一根与镀膜室内壁保持电导通的中心电极，所述中心电极与金属网罩绝缘设置。
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