[实用新型]一种氮化镓基声表面波器件有效
| 申请号： | 201320181100.X | 申请日： | 2013-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN203166849U | 公开（公告）日： | 2013-08-28 |
| 发明（设计）人： | 王晓彧;吴浩东;陈江龙 | 申请（专利权）人： | 镇江畅信超声电子有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/21 | 分类号： | H03H9/21 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 胡建华 |
| 地址： | 212000 江苏省镇江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氮化镓基声表面波器件，由下至上依次为SiC基片、氮化铝成核层、氮化镓材料层、氮化铝层以及氮化镓铝层；氮化镓铝层上设有声表面波叉指换能器，声表面波叉指换能器包括输入换能器、输出换能器及外围的吸声材料区。本实用新型使得声表面波能量能集中于声表面波器件氮化镓层中，有益于提供声表面波器件效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 镓基声 表面波 器件 | ||
【主权项】：
一种氮化镓基声表面波器件，其特征在于，由下至上依次为SiC基片、氮化铝成核层、氮化镓材料层、氮化铝层以及氮化镓铝层；氮化镓铝层上设有声表面波叉指换能器，声表面波叉指换能器包括输入换能器、输出换能器及外围的吸声材料区。
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