[实用新型]一种电容式加速度传感器有效

专利信息
申请号: 201320193344.X 申请日: 2013-04-12
公开(公告)号: CN203133112U 公开(公告)日: 2013-08-14
发明(设计)人: 崔贺伟;陈强中 申请(专利权)人: 厦门乃尔电子有限公司
主分类号: G01P15/125 分类号: G01P15/125
代理公司: 福建炼海律师事务所 35215 代理人: 许育辉
地址: 361000 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 一种电容式加速度传感器,包括底座、芯片、排线和上盖,芯片固定在底座上,排线一端连接芯片,上盖固定在底座上,所述的芯片由硅元件和混合信号器ASIC组成,采用MEMS电容式加速度传感器芯片,内部含有由立体微加工工艺制成的硅元件和专用混合信号器ASIC,取代采用分立元件组装,产品具有体积小、易集成、低成本、低频特性好、可靠性高,易于实现数字化和智能化;且芯片采用的微机械结构制作精确、重复性好、适于大批量生产,它的性能价格比很高。
搜索关键词: 一种 电容 加速度 传感器
【主权项】:
一种电容式加速度传感器,其特征在于:包括底座、芯片、排线和上盖,芯片固定在底座上,排线一端连接芯片,上盖固定在底座上,所述的芯片由硅元件和混合信号器ASIC组成。
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