[实用新型]高速晶粒检测设备的摆动式探针座

摘要

本实用新型提供了一种高速晶粒检测设备的摆动式探针座，所述摆动式探针座包括固定基座、摆动台、探针和固定导电片，其中，所述摆动台的下表面的中段枢接在所述固定基座上，所述探针贯穿经过所述摆动台的前端面和后端面，并露出头端和尾端。其中，当所述摆动台的前端面向上抬起，使所述探针的头端电性接触待测晶片，所示摆动台的后端面则相对应地下降，使所述探针的尾端电性接触所示固定基座上的所示固定导电片。因此，本实用新型既可以大幅减少测试时间，又可以避免晶粒撞击吸取头或其他机构。此外，本实用新型的线路连接采用固定接点式，接线不会随着摆动台上升下降，因此可以大幅提高使用寿命和测试准确度。

主权项

一种高速晶粒检测设备的摆动式探针座，其特征在于，所述摆动式探针座包括：一固定基座；一摆动台，所述摆动台包括一前端面、一后端面和一下表面，所述下表面介于所述前端面和所述后端面之间，所述下表面的中段枢接在所述固定基座上；至少一探针，所述探针贯穿经过所述摆动台的所述前端面和所述后端面，并在所述前端面露出一头端，在所述后端面露出一尾端；以及至少一固定导电片，所述固定导电片固定在所述固定基座上；其中，当所述摆动台进行枢转时，所述前端面向上抬起，使所述至少一探针的所述头端电性接触一待测晶片，同时所述摆动台的所述后端面则相对应地下降，使得所述至少一探针的所述尾端电性接触所述至少一固定导电片。