[实用新型]一种高效紧凑的多级轴向磁场约束的离子镀源装置

摘要

本实用新型涉及材料表面防护领域，具体地说是一种高效紧凑的多级轴向磁场约束的离子镀源装置。该装置用具有细长型靶材底柱紧凑结构的离子镀枪装置配合双层水冷传输法兰套，采用具有一定锥度的锥台形靶材，通过细长型靶材底柱周围靶座背面的内轴向磁场（Ⅰ级轴向磁场）发生装置与传输法兰套上的外轴向磁场（Ⅱ、Ⅲ级轴向磁场）发生装置的配合，形成与锥台形靶材锥面相交的约束轴向磁场及传输空间聚焦导引轴向磁场兼容可调的多级轴向复合磁场结构。本实用新型达到既改善弧斑放电，控制弧斑运动，减少颗粒发射，又改善传输空间的磁场分布，提高等离子体的传输效率和密度等镀膜关键参数的双重效果。

主权项

一种高效紧凑的多级轴向磁场约束的离子镀源装置，其特征在于，采用具有靶材底柱紧凑结构的离子镀枪装置配合双层水冷传输法兰套，采用锥台形靶材，通过靶材底柱周围靶座背面的内轴向磁场发生装置与传输法兰套上的外两级轴向磁场发生装置的配合，形成与锥台形靶材锥面相交的约束轴向磁场及传输空间聚焦导引轴向磁场兼容的多级轴向复合磁场结构。