[实用新型]晶圆缺陷检测机台

摘要

一种晶圆缺陷检测机台包含承载平台、光学检测装置、位移机构与控制单元。光学检测装置设置于承载平台的上方。光学检测装置具有光轴，且包含光源、分光镜、起偏振片、偏振分光棱镜、物镜、检偏振片与图像传感装置。分光镜、偏振分光棱镜、物镜、检偏振片与图像传感装置均位于光轴上。起偏振片设置于光源与分光镜之间。物镜设置于偏振分光棱镜相对分光镜的一侧。检偏振片设置于分光镜相对偏振分光棱镜的一侧。图像传感装置设置于检偏振片相对分光镜的一侧。位移机构设置于承载平台下，且连接承载平台。控制单元连接光学检测装置与位移机构。

主权项

一种晶圆缺陷检测机台，其特征在于，包含：承载平台；光学检测装置，其设置于该承载平台的上方，该光学检测装置具有光轴，且该光学检测装置包含：光源；分光镜，其位于该光轴上；起偏振片，其设置于该光源与该分光镜之间；至少一偏振分光棱镜，其位于该光轴上；至少一物镜，其设置于该偏振分光棱镜相对于该分光镜的一侧，且该物镜位于该光轴上；检偏振片，其设置于该分光镜相对该偏振分光棱镜的一侧，且该检偏振片位于该光轴上；以及图像传感装置，其设置于该检偏振片相对该分光镜的一侧，且该图像传感装置位于该光轴上；位移机构，其设置于该承载平台下，且连接该承载平台；以及控制单元，其连接该光学检测装置与该位移机构。