[实用新型]一种晶体生长的自动检测装置有效
申请号: | 201320211578.2 | 申请日: | 2013-04-23 |
公开(公告)号: | CN203284506U | 公开(公告)日: | 2013-11-13 |
发明(设计)人: | 徐永亮;张国华;吴智洪 | 申请(专利权)人: | 浙江昀丰新能源科技有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 王宝筠 |
地址: | 321037 浙江省金*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种晶体生长的自动检测装置,包括:升降支架;设置于所述升降支架一侧的石英管;连接所述升降支架和所述石英管的升降板,所述升降板可沿所述升降支架和所述石英管上下移动;设置于所述升降支架上,以控制所述升降板上下移动的升降模组;设置于所述石英管内部,且可沿所述石英管上下移动的钨棒;设置于所述钨棒的上端,具有磁性的升降环;设置于所述升降板上,以通过所述升降环带动所述钨棒上下移动的磁铁;设置于所述升降板上,以检测所述升降环移动的区域传感器。此种晶体生长的自动检测装置可以大大减小钨棒在固液交界面的停留时间,保证晶体生长的质量,提高晶体生长的成功率。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 自动检测 装置 | ||
【主权项】:
一种晶体生长的自动检测装置,其特征在于,包括:升降支架;设置于所述升降支架一侧的石英管;连接所述升降支架和所述石英管的升降板,所述升降板可沿所述升降支架和所述石英管上下移动;设置于所述升降支架上,以控制所述升降板上下移动的升降模组;设置于所述石英管内部,且可沿所述石英管上下移动的钨棒;设置于所述钨棒的上端,具有磁性的升降环;设置于所述升降板上,以通过所述升降环带动所述钨棒上下移动的磁铁;设置于所述升降板上,以检测所述升降环移动的区域传感器。
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