[实用新型]键合线退火机有效

专利信息
申请号: 201320216373.3 申请日: 2013-04-20
公开(公告)号: CN203229561U 公开(公告)日: 2013-10-09
发明(设计)人: 李勇;田鹏 申请(专利权)人: 滕州晨晖电子集团有限公司
主分类号: C21D9/56 分类号: C21D9/56;C21D1/74;C22F1/08
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 277500 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 一种键合线退火机,由键合线、炉体、氢气进气管、冷却管、氮气进气管、导轮和收线轮等构成,其特征是在键合线退火设备中,缩减了原退火机炉体的长度,增加了氮气循环冷却装置。键合线从退火机炉体出来后先进入冷却装置,在冷却装置被冷却后再缠绕在收线轮上。该退火机能防止键合线退火后表面再次被氧化,消除键合线的加工硬化现象,提高键合线的质量。
搜索关键词: 键合线 退火
【主权项】:
一种键合线退火机,其特征是缩减了原退火机炉体的长度,在键合线退火设备中,增加了氮气冷却装置,键合线从退火机炉体出来后先进入冷却装置,在冷却装置被冷却后再缠绕在收线轮上。
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