[实用新型]键合线退火机有效
申请号: | 201320216373.3 | 申请日: | 2013-04-20 |
公开(公告)号: | CN203229561U | 公开(公告)日: | 2013-10-09 |
发明(设计)人: | 李勇;田鹏 | 申请(专利权)人: | 滕州晨晖电子集团有限公司 |
主分类号: | C21D9/56 | 分类号: | C21D9/56;C21D1/74;C22F1/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 277500 山东*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 一种键合线退火机,由键合线、炉体、氢气进气管、冷却管、氮气进气管、导轮和收线轮等构成,其特征是在键合线退火设备中,缩减了原退火机炉体的长度,增加了氮气循环冷却装置。键合线从退火机炉体出来后先进入冷却装置,在冷却装置被冷却后再缠绕在收线轮上。该退火机能防止键合线退火后表面再次被氧化,消除键合线的加工硬化现象,提高键合线的质量。 | ||
搜索关键词: | 键合线 退火 | ||
【主权项】:
一种键合线退火机,其特征是缩减了原退火机炉体的长度,在键合线退火设备中,增加了氮气冷却装置,键合线从退火机炉体出来后先进入冷却装置,在冷却装置被冷却后再缠绕在收线轮上。
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