[实用新型]一种区熔炉的内轴运动装置及主轴运动装置有效
申请号: | 201320224120.0 | 申请日: | 2013-04-27 |
公开(公告)号: | CN203270089U | 公开(公告)日: | 2013-11-06 |
发明(设计)人: | 周鹏;包娜娜;张继宏 | 申请(专利权)人: | 北京京运通科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B13/32 | 分类号: | C30B13/32 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100176 北京市大*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及区熔炉技术领域,特别涉及一种区熔炉的内轴运动装置及主轴运动装置,用于提高内轴的运动精度,从而提高区熔炉引晶的成功率。本实用新型公开了一种区熔炉的内轴运动装置,包括:内轴;位于区熔炉内的下滑座上,用于驱动内轴升降运动的伺服缸组件;两端分别与内轴和伺服缸组件的伸缩杆固定连接的内轴连接杆组件。在本实用新型中,利用伺服缸组件精确控制内轴的升降运动,提高内轴的运动精度,进而提高区熔炉引晶的成功率。本实用新型同时还公开了一种区熔炉的主轴运动装置,包括具有上述技术特征的内轴运动装置。 | ||
搜索关键词: | 一种 熔炉 运动 装置 主轴 | ||
【主权项】:
一种区熔炉的内轴运动装置,其特征在于,包括:内轴;位于区熔炉内的下滑座上,用于驱动所述内轴升降运动的伺服缸组件;两端分别与所述内轴和所述伺服缸组件的伸缩杆固定连接的内轴连接杆组件。
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