[实用新型]移动式二氯乙烯手动加液系统有效

专利信息
申请号: 201320225749.7 申请日: 2013-04-28
公开(公告)号: CN203463944U 公开(公告)日: 2014-03-05
发明(设计)人: 周利明 申请(专利权)人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
主分类号: F17D1/12 分类号: F17D1/12
代理公司: 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 代理人: 刘昌荣
地址: 201203 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开了一种移动式二氯乙烯手动加液系统,包括:移动式载物平台;二氯乙烯瓶;多个T型三通、手阀及多根工艺管路;其中,第一T型三通一端接二氯乙烯瓶粗口,另两端装第一、第二手阀;第二T型三通一端接二氯乙烯瓶细口,另两端装第三、第四手阀;第三T型三通一端装第五手阀,另两端用于接入到设备侧氮气输送管路中;第四T型三通一端装第六手阀,另两端用于接入到设备侧二氯乙烯输出管路中;第一、第四手阀另一侧管路出口连接纯氮气;第二、第六手阀另一侧管路出口用于排放废气;第三手阀另一侧通过管路与第五手阀连接。本实用新型在不拆装二氯乙烯瓶的情况下,实现了二氯乙烯加液,节省了二氯乙烯更换的作业时间,减少了残液浪费。
搜索关键词: 移动式 氯乙烯 手动 系统
【主权项】:
移动式二氯乙烯手动加液系统,其特征在于,包括: 移动式载物平台; 第一二氯乙烯瓶(B1),充有足够量的二氯乙烯,放置在移动式载物平台上; 多个T型三通接头,多个手阀,以及多根连接用的工艺管路;其中: 第一T型三通(T1),一端连接第一二氯乙烯瓶(B1)的粗管出口,另外两端分别安装第一手阀(V1)、第二手阀(V2); 第二T型三通(T2),一端连接第一二氯乙烯瓶(B1)的细管出口,另外两端分别安装第三手阀(V3)、第四手阀(V4); 第三T型三通(T3),一端安装第五手阀(V5),另外两端用于接入到设备侧二氯乙烯压送管路的氮气输送管路中; 第四T型三通(T4),一端安装第六手阀(V6),另外两端用于接入到设备侧二氯乙烯压送管路的二氯乙烯输出管路中; 第一手阀(V1)、第四手阀(V4)另一侧的第一管路出口(P1)、第三管路出口(P3)连接纯氮气; 第二手阀(V2)、第六手阀(V6)另一侧的第二管路出口(P2)、第五管路出口(P5)用于酸性废气的排放; 第三手阀(V3)另一侧通过管路与第五手阀(V5)连接。 
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