[实用新型]感光光阻检验装置有效

专利信息
申请号: 201320232496.6 申请日: 2013-05-02
公开(公告)号: CN203224455U 公开(公告)日: 2013-10-02
发明(设计)人: 周志华;唐根初;唐彬;敖鹤;陈靖东 申请(专利权)人: 苏州欧菲光科技有限公司
主分类号: G01N21/95 分类号: G01N21/95;G01B11/06
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 邓云鹏
地址: 215133 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种感光光阻检验装置,包括:用以发出黄光的黄光灯管;及容纳所述黄光灯管且能屏蔽黄光的灯箱,所述灯箱留有供所述黄光灯管发出的光透出的透光口,所述透光口处覆盖有具有透光能力的用以放置感光光阻的灯罩。上述感光光阻检验装置,利用黄光照射感光光阻的第一表面,通过观察感光光阻相对的第二表面是否有出现亮点,并根据亮点的强弱判断是否存在透空,能够检验在黄光下印刷或涂覆的感光光阻是否存在透空,简单可靠且效率高。
搜索关键词: 感光 检验 装置
【主权项】:
一种感光光阻检验装置,其特征在于,包括:用以发出黄光的黄光灯管;及容纳所述黄光灯管且能屏蔽黄光的灯箱,所述灯箱留有供所述黄光灯管发出的光透出的透光口,所述透光口处覆盖有具有透光能力的用以放置感光光阻的灯罩。
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