[实用新型]光刻胶喷涂装置和光刻胶喷涂系统有效
| 申请号： | 201320242042.7 | 申请日： | 2013-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN203275872U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 陈宁;刘兴东 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16;B05B9/03;B05B13/02 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种光刻胶喷涂装置，该光刻胶喷涂装置包括储液瓶和喷头，所述储液瓶上设置有出口，所述喷头与所述储液瓶的出口相连，其中，所述出口位于所述储液瓶的底部，所述喷头位于所述出口的下方，所述储液瓶上还设置有将所述储液瓶的内部与该储液瓶的外部连通的气孔。本实用新型还提供一种光刻胶喷涂系统。在本实用新型所提供的光刻胶喷涂装置中，喷头位于储液瓶的出口的下方，且储液瓶上设置有将储液瓶的内部与储液瓶的外部连通的气孔，因此，储液瓶内液体可以借助大气压力和储液瓶内液体自身的重力流向喷头，并从喷头中喷出，结构简单，成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 喷涂 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种光刻胶喷涂装置，该光刻胶喷涂装置包括储液瓶和喷头，所述储液瓶上设置有出口，所述喷头与所述储液瓶的出口相连，其特征在于，所述出口位于所述储液瓶的底部，所述喷头位于所述出口的下方，所述储液瓶上还设置有将所述储液瓶的内部与该储液瓶的外部连通的气孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京东方科技集团股份有限公司，未经京东方科技集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320242042.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种置设有机械手的曝光机
- 下一篇：相机用手持拍摄平衡支架
