[实用新型]光刻机的硅片传输机械手控制器有效
| 申请号： | 201320247076.5 | 申请日： | 2013-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN203287744U | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 吕素英;靖书磊;姜杰;田耀杰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/414 | 分类号： | G05B19/414 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种光刻机的硅片传输机械手控制器，包括：系统控制模块、DSP运动控制模块、驱动控制模块和四个功率放大模块，所述系统控制模块与所述DSP运动控制模块通过HPI接口完成数据通讯；所述DSP运动控制模块和所述驱动控制模块应用EMIF接口完成数据通讯；所述驱动控制模块分别与四功率放大模块应用XINTF接口完成数据通讯。本实用新型能够去掉连接背板，将决策层、处理层和执行层集成在一块板卡上，减小机械手控制器占用空间，提高电气可靠性，提高系统可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 光刻 硅片 传输 机械手 控制器 | ||
【主权项】：
一种光刻机的硅片传输机械手控制器，其特征在于，包括系统控制模块、DSP运动控制模块、驱动控制模块和四个功率放大模块，其中，所述系统控制模块与所述DSP运动控制模块通过HPI接口完成数据通讯；所述DSP运动控制模块和所述驱动控制模块应用EMIF接口完成数据通讯；所述驱动控制模块分别与四个功率放大模块应用XINTF接口完成数据通讯。
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