[实用新型]等离子体化学气相沉积镀膜设备送气系统

摘要

本实用新型公开了一种等离子体化学气相沉积镀膜设备送气系统，涉及化学气相沉积镀膜技术领域。本实用新型包括一排支管道，所述支管道的一端均和进气管道的一侧连通，所述进气管道和总管道连通，支管道的上方设有一排出气孔，所述进气管道的另一侧还设有一排支管道，以上构成一组进气装置。本实用新型结构简单、送气均匀，能大大提高镀膜厚度的均一性，提高产品质量和生产率，降低成本，提高产品的合格率，便于批量生产。

主权项

一种等离子体化学气相沉积镀膜设备送气系统，包括一排支管道（4），所述支管道（4）的一端均和进气管道（3）的一侧连通，所述进气管道（3）和总管道（1）连通，支管道（4）的上方设有一排出气孔（5），其特征在于：所述进气管道（3）的另一侧还设有一排支管道（4），以上构成一组进气装置。