[实用新型]正压力可调的微纳米级粘滑惯性驱动平台

摘要

本实用新型涉及一种正压力可调的微纳米级粘滑惯性驱动平台，涉及精密超精密加工、微纳操作机器人、微机电系统、大规模集成电路制造、生物技术等重要科学工程领域。该装置主要由正压力可调的精密驱动单元和直线运动单元组成。其中精密驱动单元由手动精密平移台和压电驱动器构成，手动精密平移台可以调节压电驱动器和工作台之间的正压力；压电驱动器中封装压电叠堆，基于粘滑原理实现工作台的直线步进式进给。直线运动单元由精密滚动导轨和工作台组成，保证工作台直线运动。本实用新型可用于高精密驱动与加工、大规模集成电路和微操作机器人领域，具有结构简单、工作稳定、效率高、投资少、效益高等优势。

主权项

一种正压力可调的微纳米级粘滑惯性驱动平台，包括正压力可调的精密驱动单元和直线运动单元，其特征在于：所述精密驱动单元通过粘滑惯性原理实现微纳米级精密驱动，与工作台（12）之间的正压力通过手动精密平移台上的旋进手柄（1）调节；所述精密驱动单元由手动精密平移台和精密压电驱动器组成；所述手动精密平移台包括旋进手柄（1）、相互配合的平移台滑轨、滑块（2、3）和顶板（17），所述手动精密平移台固定设置在基座（15）上，所述旋进手柄（1）与柔性铰链（6）连接；所述精密压电驱动器由柔性铰链（6）、驱动压电叠堆Ⅰ、Ⅱ（8、9)组成，所述驱动压电叠堆Ⅰ、Ⅱ（8、9)分别设置在柔性铰链（6）内，驱动压电叠堆Ⅰ（8）驱动柔性铰链（6）的伸长，驱动压电叠堆Ⅱ（9）驱动柔性铰链（6）压紧工作台（12），通过控制驱动压电叠堆Ⅰ、Ⅱ（8、9)之间的时序实现柔性铰链（6）和工作台（12）之间的粘滑运动，进而驱动工作台（12）步进式精密移动。