[实用新型]一种高纯度三氯氧磷供料钢瓶

摘要

本实用新型公开了一种高纯度三氯氧磷供料钢瓶，包括钢瓶本体，分别设于钢瓶本体顶部、带有三向氮气进气阀的氮气进气管和带有三向三氯氧磷供料阀的三氯氧磷供料管，两端分别连通所述氮气进气管和三氯氧磷供料管顶部且带有第一阀门的横向管道，以及两端分别连通氮气进气阀和三氯氧磷供料阀且带有第二阀门的连通管道，三氯氧磷供料管的底端插入钢瓶本体的底部，横向管道位于氮气进气阀和三氯氧磷供料阀的上方。本实用新型通过在氮气进气阀和三氯氧磷供料阀之间增设一带阀门的管道，使得靠近氮气进气阀、三氯氧磷供料阀的管路由原先的不能冲刷变成可以冲刷干净，避免了三氯氧磷的残留，使得管道保持畅通，保证了设备的运行安全。

主权项

一种高纯度三氯氧磷供料钢瓶，包括钢瓶本体，设于所述钢瓶本体顶部、带有氮气进气阀的氮气进气管，设于所述钢瓶本体顶部、带有三氯氧磷供料阀的三氯氧磷供料管以及两端分别连通所述氮气进气管和三氯氧磷供料管顶部且带有第一阀门的横向管道，所述三氯氧磷供料管的底端插入所述钢瓶本体的底部，所述横向管道位于所述氮气进气阀和三氯氧磷供料阀的上方，其特征在于，所述氮气进气阀和三氯氧磷供料阀为三向阀门，所述高纯度三氯氧磷供料钢瓶还包括两端分别连通所述氮气进气阀和三氯氧磷供料阀且带有第二阀门的连通管道。