[实用新型]具有双电源加热的区熔炉热场有效
| 申请号： | 201320258935.0 | 申请日： | 2013-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN203284498U | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 曹建伟;欧阳鹏根;王丹涛;傅林坚;陈明杰;石刚;邱敏秀 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/20 | 分类号： | C30B13/20;C30B13/28;C30B29/06 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造领域，旨在提供一种具有双电源加热的区熔炉热场。该区熔炉热场包括主加热线圈和辅助加热器，辅助加热器的外形呈上下方向往复弯折的波浪状且在水平方向上围绕成圆环状，其两个端部设接口并通过电缆与辅助加热电源相连。辅助加热电源通过信号线依次连接数据分析模块和红外测温仪。本实用新型可解决6.5英寸以上的区熔硅单晶生长中面临的因热场分布不合理、热应力过大造成的单晶棒开裂问题，也可改善3-6英寸区熔硅单晶生长的热场分布。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 双电源 加热 熔炉 | ||
【主权项】：
具有双电源加热的区熔炉热场，包括中心设有圆孔的主加热线圈，主加热线圈与主加热电源相连，其特征在于，还包括一个辅助加热器，其外形呈上下方向往复弯折的波浪状且在水平方向上围绕形成圆环状，其两个端部设接口并通过电缆与辅助加热电源相连；辅助加热电源还通过信号线依次连接数据分析模块和红外测温仪。
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