[实用新型]研磨调整装置及化学机械研磨装置有效
| 申请号： | 201320260008.2 | 申请日： | 2013-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN203245721U | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 唐强 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/11;B24B37/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种研磨调整装置及化学机械研磨装置。所述化学机械研磨装置包括一研磨垫以及一研磨调整装置，所述研磨调整装置位于所述研磨垫的上方。所述研磨调整装置，包括一研磨调整臂和位于所述研磨调整臂一端的金刚石圆盘，另外，还包括位于所述研磨调整臂上的盘刷，所述研磨调整臂带动所述盘刷与所述金刚石圆盘一起移动。采用上述化学机械研磨装置，可以有效改善研磨调整效果，提高研磨垫的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 调整 装置 化学 机械 | ||
【主权项】：
一种研磨调整装置，包括一研磨调整臂和位于所述研磨调整臂一端的金刚石圆盘，其特征在于，还包括位于所述研磨调整臂上的盘刷，所述研磨调整臂带动所述盘刷与所述金刚石圆盘一起移动。
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