[实用新型]光罩盒有效
申请号: | 201320263054.8 | 申请日: | 2013-05-15 |
公开(公告)号: | CN203277341U | 公开(公告)日: | 2013-11-06 |
发明(设计)人: | 高海林;张学良 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;B65D85/38;B65D25/10;G03F7/20 |
代理公司: | 上海光华专利事务所 31219 | 代理人: | 李仪萍 |
地址: | 100176 北京市大兴*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型提供一种光罩盒,其包括一盒底以及与该盒底配合的盒盖,所述盒底的底部设有至少四个第一固定器;所述第一固定器包括支撑台阶以及自该支撑台阶向上延伸的引导部;所述引导部包括底面、自该底面一侧弯折延伸的引导面以及连接所述引导面和底面的侧面;所述至少四个第一固定器的引导面与支撑台阶围成用于收容光罩的收容腔。本实用新型的光罩盒的固定器与光罩采用面接触式,在方便光罩取放并限制光罩在光罩盒内左右移动的同时,还避免了在光罩放进及取出光罩盒时柔软的光罩薄膜面被划伤;光罩盒的盒盖及盒底均设有固定器,所述固定器的支撑台阶支撑光罩的边缘,能避免光罩的薄膜面及玻璃面因接触光罩盒顶面或底面而造成破损。 | ||
搜索关键词: | 光罩盒 | ||
【主权项】:
一种光罩盒,其包括一盒底以及与该盒底配合的盒盖,其特征在于,所述盒底包括底部以及自该底部的侧边弯折延伸的第一侧墙;所述盒底的底部设有至少四个第一固定器;所述第一固定器包括支撑台阶以及自该支撑台阶向上延伸的引导部;所述引导部包括底面、自该底面一侧弯折延伸的引导面以及连接所述引导面和底面的侧面;所述侧面与所述盒底的第一侧墙接触;所述至少四个第一固定器的引导面与支撑台阶围成用于收容光罩的收容腔;所述盒盖包括顶部以及自该顶部的侧边弯折延伸的第二侧墙;所述盒盖的顶部设有至少四个第二固定器,所述第二固定器与所述第一固定器结构相同。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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