[实用新型]蒸发自动转换装置有效
| 申请号： | 201320287204.9 | 申请日： | 2013-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN203307421U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 贺伊明 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京凯特来知识产权代理有限公司 11260 | 代理人： | 郑立明;赵镇勇 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸发自动转换装置，属于真空镀膜设备用自控制装置领域。该装置包括：框架组件，用于设置各部件；至少两个气缸，分别设置在所述框架组件上，各气缸的气缸杆伸入所述框架组件内；所述框架组件内的各气缸的气缸杆前端均连接有一开关组件，各气缸的气缸杆伸出或缩回能使该气缸对应的开关组件的接通或断开；控制器，分别与各气缸电连接，用于控制各气缸的气缸杆伸出或缩回。该装置通过气缸对开关组件进行控制，可实现自动切换各开关组件的开与关，进而切换各蒸发源的开与关，实现自动蒸发转换。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 自动 转换 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸发自动转换装置，其特征在于，包括： 框架组件，用于设置各部件； 至少两个气缸，分别设置在所述框架组件上，各气缸的气缸杆伸入所述框架组件内； 所述框架组件内的各气缸的气缸杆前端均连接有一开关组件，各气缸的气缸杆伸出或缩回能使该气缸对应的开关组件的接通或断开； 控制器，分别与各气缸电连接，用于控制各气缸的气缸杆伸出或缩回。
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