[实用新型]热处理装置

摘要

本实用新型公开了一种热处理装置，包括一炉体、一隔板单元、一抽风单元、一加热单元及一气体传输管。炉体界定一腔室。隔板单元设置于腔室内并用于使腔室形成一循环通道。抽风单元设置于循环通道内并用于使腔室内的气体沿循环通道流动。加热单元设置于循环通道内并用于加热腔室内的气体。气体传输管设置于炉体且伸入循环通道。气体传输管的延伸方向垂直于腔室内的气体的流动方向。气体传输管具有多个沿其延伸方向间隔分布的开口。气体传输管用于自炉体外部接收一预定气体，且使预定气体能由开口进入循环通道。本实用新型的热处理装置可使预定气体能均匀分布于腔室内。

主权项

一种热处理装置，包括：一炉体，界定一腔室；一隔板单元，设置于所述腔室内并用于使所述腔室形成一循环通道；一抽风单元，设置于所述循环通道内并用于使所述腔室内的气体沿所述循环通道流动；一加热单元，设置于所述循环通道内并用于加热所述腔室内的气体；及一气体传输管，设置于所述炉体且伸入所述循环通道，所述气体传输管的延伸方向垂直于所述腔室内的气体的流动方向，所述气体传输管具有多个沿其延伸方向间隔分布的开口，所述气体传输管用于自所述炉体外部接收一预定气体，且使所述预定气体能由所述的多个开口进入所述循环通道。