[实用新型]一种用于小口径掺杂炉管的匀流板有效
| 申请号： | 201320288902.0 | 申请日： | 2013-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN203284502U | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 罗强 | 申请（专利权）人： | 康可电子(无锡)有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/06 | 分类号： | C30B31/06;C30B31/16 |
| 代理公司： | 无锡华源专利事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 冯智文 |
| 地址： | 214142 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于小口径掺杂炉管的匀流板，该匀流板适用于小尺寸硅晶片的扩散掺杂，包括依次平行排列的主匀流板和两层副匀流板，主匀流板和副匀流板呈圆形或方形，其尺寸与所述硅晶片相当；主匀流板上布置有中心匀流大孔以及围绕中心匀流大孔呈多层圆环状分布的边缘匀流小孔，副匀流板上布置有中心匀流小孔以及围绕中心匀流小孔呈多层圆环状分布的边缘匀流小孔。本实用新型匀流效果好，结构简单，加工和安装方便，实用性强，可有效提高硅晶片的掺杂均匀性，特别适用于小尺寸晶体硅太阳能电池的批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 小口径 掺杂 炉管 匀流板 | ||
【主权项】：
一种用于小口径掺杂炉管的匀流板，其特征在于该匀流板适用于小尺寸硅晶片的扩散掺杂，包括依次平行排列的主匀流板（1）和两层副匀流板（2），主匀流板（1）和副匀流板（2）呈圆形或方形，其尺寸与所述硅晶片相当；主匀流板（1）上布置有中心匀流大孔（3）以及围绕中心匀流大孔（3）呈多层圆环状分布的边缘匀流小孔（4），副匀流板（2）上布置有中心匀流小孔（5）以及围绕中心匀流小孔（5）呈多层圆环状分布的边缘匀流小孔（4）。
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