[实用新型]一种高效玻璃薄化设备

摘要

本实用新型公开了一种高效玻璃薄化设备，其蚀刻箱体的内部成型蚀刻腔室和缓冲腔室，缓冲腔室的底部配装至少两条进液管，蚀刻腔室与缓冲腔室之间装设上导流板和下导流板，下导流板开设下导流孔，上导流板开设上导流孔，上导流孔的直径较下导流孔的直径小。工作时，蚀刻剂经由进液管而输入至缓冲腔室内，缓冲腔室能起到缓冲作用；进入至缓冲腔室内的蚀刻剂依次经由下导流孔和上导流孔而进入至蚀刻腔室内；本实用新型通过下导流板和上导流板进行二次导流处理，蚀刻剂最终被上导流孔分成多股细小的蚀刻剂流且均匀平稳地进入至蚀刻腔室内。故而，本实用新型能够有效地避免涡流对玻璃基板蚀刻质量的影响，进而蚀刻质量。

主权项

一种高效玻璃薄化设备，其特征在于：包括蚀刻箱体（1），蚀刻箱体（1）的内部成型有蚀刻腔室（11），蚀刻箱体（1）的内部于蚀刻腔室（11）的下方成型有缓冲腔室（12），蚀刻箱体（1）的内部于蚀刻腔室（11）与缓冲腔室（12）之间设置有搭肩（13），缓冲腔室（12）的底部配装有至少两条与循环泵体的出液口连接且往缓冲腔室（12）内供给蚀刻剂的进液管（2），蚀刻腔室（11）与缓冲腔室（12）之间装设有上下层叠且间隔布置的上导流板（3）和下导流板（4），上导流板（3）位于下导流板（4）的上方，下导流板（4）开设有上下完全贯穿且呈均匀分布的下导流孔（41），上导流板（3）开设有上下完全贯穿且呈均匀分布的上导流孔（31），上导流孔（31）和下导流孔（41）分别为圆形孔，上导流孔（31）的直径较下导流孔（41）的直径小。