[实用新型]自重式上夹具和基板夹具有效
| 申请号： | 201320298656.7 | 申请日： | 2013-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN203333753U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 谢建军 | 申请（专利权）人： | 深圳市生波尔机电设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种自重式上夹具和基板夹具，该自重式上夹具用于夹持真空镀膜设备的基板，以将基板固定在真空镀膜设备的托架上，自重式上夹具包括自重卡块和安装压盖，自重卡块一端设置有用于夹持基板的卡槽，托架上设置有供自重卡块上下滑动的凹槽，安装压盖上设置有用于限制自重卡块上下滑动的极限位置的限位孔，安装压盖固定在托架上，自重卡块位于安装压盖和托架之间。本实用新型的自重式上夹具能够实现对基板的快速装夹和拆卸，提高生产效率，且在真空镀膜要求的高温环境下，自重卡块始终保持恒定的夹持力夹紧基板，避免在高温环境下因基板与托架的热膨胀系数不一致而导致的掉片现象，提高工作稳定性，延长自重式夹具的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 自重 夹具 | ||
【主权项】：
一种自重式上夹具，用于夹持真空镀膜设备的基板，以将所述基板固定在所述真空镀膜设备的托架上，其特征在于，所述自重式上夹具包括自重卡块和安装压盖，所述自重卡块一端设置有用于夹持所述基板的卡槽，所述托架上设置有供所述自重卡块上下滑动的凹槽，所述安装压盖上设置有用于限制所述自重卡块上下滑动的极限位置的限位孔，所述安装压盖固定在所述托架上，所述自重卡块位于所述安装压盖和所述托架之间。
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