[实用新型]一种提高磁控溅射脉冲电源输出脉冲频率的装置有效
| 申请号： | 201320306840.1 | 申请日： | 2013-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN203326917U | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 孙强;孙天乐;陈桂涛;黄西平 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | H02M9/02 | 分类号： | H02M9/02 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种提高磁控溅射脉冲电源输出脉冲频率的装置，包括依次连接的直流电流源模块、高频脉冲发生模块及磁控溅射装置，直流电流源模块、高频脉冲发生模块还分别与控制模块连接。本实用新型提高磁控溅射脉冲电源输出脉冲频率的装置，利用FPGA芯片的灵活性，产生脉冲发生单元所需的多路驱动信号，脉冲发生单元利用8只开关管交替导通和关断，实现不提高开关管开关频率的条件下，输出频率加倍，等效提高了电源最大输出频率，扩展了电源对工艺的适用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 磁控溅射 脉冲 电源 输出 频率 装置 | ||
【主权项】：
一种提高磁控溅射脉冲电源输出脉冲频率的装置，其特征在于，包括依次连接的直流电流源模块（1）、高频脉冲发生模块（2）及磁控溅射装置（3），直流电流源模块（1）、高频脉冲发生模块（2）还分别与控制模块（4）连接。
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