[实用新型]区熔炉晶棒预热装置有效
| 申请号： | 201320308440.4 | 申请日： | 2013-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN203451645U | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 欧阳鹏根;傅林坚;曹建伟;石刚;王丹涛;陈明杰;邱敏秀;蒋庆良 | 申请（专利权）人： | 浙江晶盛机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/18 | 分类号： | C30B13/18 |
| 代理公司： | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人： | 周世骏 |
| 地址： | 312300 浙江省绍兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及非金属的制造设备，旨在提供区熔炉晶棒预热装置。该区熔炉晶棒预热装置包括预热环、调整块、固定法兰和驱动装置，固定法兰与区熔炉的炉室固定且密封，驱动装置与固定法兰相连，驱动装置的移动轴穿过固定法兰与调整块连接，预热环与调整块相连。本实用新型采用低阻硅材质的预热环，有效避免了现有技术中石墨预热环对炉室的污染，提高了单晶品质和单晶生产率，同时本实用新型还公开了该预热环的驱动装置，简单可靠，易于实现预热环位置的精确控制。 | ||
| 搜索关键词： | 熔炉 预热 装置 | ||
【主权项】：
区熔炉晶棒预热装置，用于对区熔炉中的多晶棒进行预热，其特征在于，所述区熔炉晶棒预热装置包括预热环、调整块、固定法兰和驱动装置，固定法兰与区熔炉的炉室固定且密封，驱动装置与固定法兰相连，驱动装置的移动轴穿过固定法兰与调整块连接，预热环与调整块相连；所述预热环是低阻硅制作而成的且中心设有倒锥型通孔的圆柱形预热环，所述调整块用于调节预热环与多晶棒和区熔炉中的线圈的间距，所述驱动装置用于为预热环提供进行直线运动的动力。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江晶盛机电股份有限公司，未经浙江晶盛机电股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320308440.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：喷丝帽酸洗装置
- 下一篇：一种用于热喷涂的气体保护装置
