[实用新型]一种高效单晶炉石墨坩埚

摘要

本实用新型提供了一种高效单晶炉石墨坩埚，包括坩埚主体、坩埚座和坩埚塞，坩埚主体放置在坩埚座上，坩埚主体由四块相同的且内壁上设有一层碳化硅涂层的坩埚板通过石墨纸封带相互拼接围成，坩埚主体呈锥台形，坩埚主体底部设有一个开口，开口截面呈弧形，坩埚塞设置在开口内，坩埚塞形状与开口的形状相适配，坩埚塞底部设有一球面定位凸头，坩埚座上设有一与定位凸头形状相匹配的定位凹腔，定位凸头可嵌入定位凹腔内，每个坩埚板与坩埚座连接处均设置有一个排渣通孔，排渣通孔与水平方向形成的夹角为30°。本实用新型克服了传统石墨坩埚原料浪费和生产效率底下、以及不易定位和坩埚固定不牢的缺陷。

主权项

一种高效单晶炉石墨坩埚，包括坩埚主体、坩埚座和坩埚塞，其特征是：所述坩埚主体放置在所述坩埚座上，所述坩埚主体由四块相同的且内壁上设有一层碳化硅涂层的坩埚板通过石墨纸封带相互拼接围成，所述坩埚主体呈锥台形，所述坩埚主体底部设有一个开口，所述开口截面呈弧形，所述坩埚塞设置在所述开口内，所述坩埚塞形状与所述开口的形状相适配，所述坩埚塞底部设有一球面定位凸头，所述坩埚座上设有一与所述定位凸头形状相匹配的定位凹腔，所述定位凸头可嵌入所述定位凹腔内，每个所述坩埚板与所述坩埚座连接处均设置有一个排渣通孔，所述排渣通孔与水平方向形成的夹角为30°。