[实用新型]一种单晶炉两段式均热石墨坩埚

摘要

本实用新型提供了一种单晶炉两段式均热石墨坩埚，包括坩埚主体和坩埚座，坩埚主体放置在坩埚座上，坩埚主体由四块相同的且内壁上设有一层防粘层的坩埚板通过石墨纸封带相互拼接围成，坩埚主体呈锥台形，每个坩埚板的外壁上盘设螺旋状上升的均热石墨凸纹条，坩埚主体的顶部设置有石墨环，石墨环呈圆环状。每个坩埚板的下端设有定位卡脚，定位卡脚呈倒置的圆锥台形，坩埚座与坩埚板下端的定位卡脚相对应的位置上设有定位凹槽，定位凹槽呈圆柱状，定位凹槽的槽深与定位卡脚的高度相一致，定位凹槽的直径与定位卡脚的最大直径相一致。本实用新型很好的解决了传统石墨坩埚各部位温度不均匀的技术缺陷问题，延长了石墨坩埚的使用寿命。

主权项

一种单晶炉两段式均热石墨坩埚，包括坩埚主体和坩埚座，其特征是：所述坩埚主体放置在所述坩埚座上，所述坩埚主体由四块相同的且内壁上设有一层防粘层的坩埚板通过石墨纸封带相互拼接围成，所述坩埚主体呈锥台形，每个所述坩埚板的外壁上盘设螺旋状上升的均热石墨凸纹条。