[实用新型]基于双FBG悬挂式探头结构的超精密微位移传感系统有效
| 申请号： | 201320325214.7 | 申请日： | 2013-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN203364764U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 刘芳芳;夏豪杰;陈丽娟;李红莉 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230039 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了基于双FBG悬挂式探头结构的超精密微位移传感系统，其特征是探头采用不锈钢针管为保护套，所述保护套内沿其轴向平行设置两根FBG光纤测杆，所述两根光纤测杆一端与保护套固定，另一端悬空以进行测量；其中一根光纤为测量光纤，其测杆端部具有伸出保护套外的测球，另一根光纤测杆为补偿光纤，包覆在保护套，其端部经熔烧加工形成封闭端。本实用新型微位移传感器系统具有灵敏度高、稳定性好、长径比大、抗干扰性强等优点，可广泛用于微器件、微结构、微尺寸的微纳米量级的位移参数测量。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 fbg 悬挂 探头 结构 精密 位移 传感 系统 | ||
【主权项】：
基于双FBG悬挂式探头结构的超精密微位移传感系统，其特征是探头采用不锈钢针管为保护套，所述保护套内沿其轴向平行设置两根FBG光纤测杆，所述两根光纤测杆一端与保护套固定，另一端悬空以进行测量；其中一根光纤为测量光纤，测量光纤的测杆端部具有伸出保护套外的测球，另一根光纤测杆为补偿光纤，包覆在保护套，其端部经熔烧加工形成封闭端。
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