[实用新型]微波介质阻挡放电等离子体发生装置

摘要

本实用新型公开了一种微波介质阻挡放电等离子体发生装置，包括有磁控管，磁控管的底端固定连接有圆形波导，圆形波导的底端固定连接有石英管，磁控管的阴极固定连接有钨棒，钨棒依次穿过圆形波导和石英管并延伸出，磁控管的底端在圆形波导和石英管的周围固定连接有筒形不锈钢网。本实用新型结构简单，采用工业级的磁控管作为等离子发生源，具有价格便宜、运行可靠、寿命长等优点，并采用通有气体的石英管作为产生等离子体的介质，成本低廉且寿命长，等离子体产生电压低，另外，不锈钢网不仅是接地极，可以形成均匀的电磁场，还可以起到阻隔微波通紫外线的作用。

主权项

一种微波介质阻挡放电等离子体发生装置，包括有磁控管，其特征在于：所述磁控管的底端固定连接有圆形波导，所述圆形波导的底端固定连接有石英管，所述磁控管的阴极固定连接有钨棒，所述的钨棒依次穿过圆形波导和石英管并延伸出，所述磁控管的底端在圆形波导和石英管的周围固定连接有筒形不锈钢网。