[实用新型]一种喷雾燃烧装置有效

专利信息
申请号: 201320347731.4 申请日: 2013-06-18
公开(公告)号: CN203373422U 公开(公告)日: 2014-01-01
发明(设计)人: 包志豪;李晓冬 申请(专利权)人: 苏州宇豪纳米材料有限公司
主分类号: C23C16/453 分类号: C23C16/453
代理公司: 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 代理人: 张一鸣
地址: 215107 江苏省苏州市苏州工业园区*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种喷雾燃烧装置,包括火焰喷嘴、加热雾化装置、可燃液态前驱物进料管、可燃液态前驱物供给装置、燃料管和燃料供给装置;可燃液态前驱物供给装置与可燃液态前驱物进料管相连接,向可燃液态前驱物进料管内通入可燃液态前驱物;可燃液态前驱物进料管通过加热雾化装置与火焰喷嘴相连接;燃料供给装置与燃料管相连接,向燃料管内通入燃料;燃料管在火焰喷嘴内至少分为两路;所述两路出焰口在可燃液态前驱物进料管的喷口汇聚;本实用新型的喷雾燃烧装置,可燃液态前驱物分解彻底,导致制备出的薄膜质量好;保护性气体能够起到散热和冷却的效果,使得可燃液态前驱物经高温分解后温度降低,防止衬底因为温度过高而烧毁。
搜索关键词: 一种 喷雾 燃烧 装置
【主权项】:
一种喷雾燃烧装置,其特征在于:包括火焰喷嘴、加热雾化装置、可燃液态前驱物进料管、可燃液态前驱物供给装置、燃料管和燃料供给装置;所述可燃液态前驱物供给装置与可燃液态前驱物进料管相连接,向可燃液态前驱物进料管内通入可燃液态前驱物;所述可燃液态前驱物进料管通过加热雾化装置与火焰喷嘴相连接;所述燃料供给装置与燃料管相连接,向燃料管内通入燃料;所述燃料管在火焰喷嘴内至少分为两路;所述两路出焰口在可燃液态前驱物进料管的喷口汇聚。
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