[实用新型]一种喷雾燃烧装置有效
申请号: | 201320347731.4 | 申请日: | 2013-06-18 |
公开(公告)号: | CN203373422U | 公开(公告)日: | 2014-01-01 |
发明(设计)人: | 包志豪;李晓冬 | 申请(专利权)人: | 苏州宇豪纳米材料有限公司 |
主分类号: | C23C16/453 | 分类号: | C23C16/453 |
代理公司: | 苏州铭浩知识产权代理事务所(普通合伙) 32246 | 代理人: | 张一鸣 |
地址: | 215107 江苏省苏州市苏州工业园区*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及一种喷雾燃烧装置,包括火焰喷嘴、加热雾化装置、可燃液态前驱物进料管、可燃液态前驱物供给装置、燃料管和燃料供给装置;可燃液态前驱物供给装置与可燃液态前驱物进料管相连接,向可燃液态前驱物进料管内通入可燃液态前驱物;可燃液态前驱物进料管通过加热雾化装置与火焰喷嘴相连接;燃料供给装置与燃料管相连接,向燃料管内通入燃料;燃料管在火焰喷嘴内至少分为两路;所述两路出焰口在可燃液态前驱物进料管的喷口汇聚;本实用新型的喷雾燃烧装置,可燃液态前驱物分解彻底,导致制备出的薄膜质量好;保护性气体能够起到散热和冷却的效果,使得可燃液态前驱物经高温分解后温度降低,防止衬底因为温度过高而烧毁。 | ||
搜索关键词: | 一种 喷雾 燃烧 装置 | ||
【主权项】:
一种喷雾燃烧装置,其特征在于:包括火焰喷嘴、加热雾化装置、可燃液态前驱物进料管、可燃液态前驱物供给装置、燃料管和燃料供给装置;所述可燃液态前驱物供给装置与可燃液态前驱物进料管相连接,向可燃液态前驱物进料管内通入可燃液态前驱物;所述可燃液态前驱物进料管通过加热雾化装置与火焰喷嘴相连接;所述燃料供给装置与燃料管相连接,向燃料管内通入燃料;所述燃料管在火焰喷嘴内至少分为两路;所述两路出焰口在可燃液态前驱物进料管的喷口汇聚。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的