[实用新型]一种带闭环控制系统的微机电干涉平台

摘要

本实用新型公开了一种带闭环控制系统的微机电干涉平台，该微干涉平台包括光路系统和闭环控制电路系统；光路系统中，通过监测打在四象限探测器上的反射光斑是否发生偏移判断干涉平台的动镜是否发生偏移，当四象限探测器检测到光斑偏移后，闭环控制电路系统通过算法处理将驱动微镜的电压信号作出相应的调整，使干涉平台的动镜恢复到初始设定的角度，在干涉平台动镜整个轴向运动过程中自动将微镜锁定在初始角度，以此实现动镜面型的控制。该平台可实时控制，保证微镜镜面的准确性，采用微加工方式的干涉系统成本低，易实现，实用性强。

主权项

一种带闭环控制系统的微机电干涉平台，其特征在于：包括光路系统和闭环控制电路系统（1）； 所述光路系统包括激光光源（2）、第一分光镜（3）、第二分光镜（5）、第一微镜（6）、第一四象限探测器（4）、第三分光镜（11）、第二微镜（9）、第二四象限探测器（12）； 第一分光镜（3）用于把激光光源（2）发出的一束激光分成相同的两束光，一束打在第二分光镜（5）上，一束打在第三分光镜（11）上； 第二分光镜（5）用于将一束光分成相同的两束光，一束打在第一微镜（6）上，一束打在外部吸收，第一微镜（6）反射后的光打在第一四象限探测器（4）上； 第三分光镜（11）用于将一束光分成两束光，一束打在第二微镜（9）上，一束打在外部吸收，第二微镜（9）反射的光打在第二四象限探测器（12）上； 所述闭环控制电路系统（1）包括数据处理模块（102），信号整形模块（104），光电转换模块（105）和数据转换模块（103）； 所述数据处理模块（102）是程序运算的中心，负责算法的运行和功能调度； 所述信号整形模块（104）用于将采集到的光电信号和驱动信号调整到合适的范围； 所述光电转换模块（105）是将四象限探测器检测的光信号转换为电信号； 所述数据转换模块（103）是将光电转换模块（105）输出的模拟信号采集到数据处理模块（102）内部进行数据分析处理，以及将数字信号转换成模拟电压信号用于驱动作为动镜的微镜。