[实用新型]一种线切机硅棒冲洗器有效
申请号: | 201320352943.1 | 申请日: | 2013-06-19 |
公开(公告)号: | CN203371672U | 公开(公告)日: | 2014-01-01 |
发明(设计)人: | 安增现;陈军涛;王辉;郭东兴;李东生;柳丽强;王世磊;闫忠恩;黄旭光 | 申请(专利权)人: | 晶龙实业集团有限公司 |
主分类号: | B28D7/02 | 分类号: | B28D7/02 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北省邢台*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种线切机硅棒冲洗器,包括方向一致的粗管和插在粗管中的细管,以及用于支撑两管的磁力表座;粗管的两端封堵,细管的一端封堵,细管的另一端为入水口;在粗管的管壁和细管的管壁上各开有一道喷水窄缝,并且两道喷水窄缝相背设置。本实用新型通过两道相背设置的喷水窄缝,最终得到稳定、均匀的水幕,可快速冲洗干净片与片之间的砂浆,并且压力稳定的水幕降低了对硅片的冲击力,减少碎片产生。 | ||
搜索关键词: | 一种 线切机硅棒 冲洗 | ||
【主权项】:
一种线切机硅棒冲洗器,其特征在于:包括方向一致的粗管(1)和插在粗管(1)中的细管(2),以及用于支撑两管的磁力表座;粗管(1)的两端封堵,细管(2)的一端封堵,细管(2)的另一端为入水口(5);在粗管(1)的管壁和细管(2)的管壁上各开有一道喷水窄缝(3、4),并且两道喷水窄缝(3、4)相背设置。
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