[实用新型]一种双等离子体离子源及设备有效
| 申请号： | 201320353540.9 | 申请日： | 2013-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN203367222U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 龙涛;曾小辉;王培智;包泽民;陶强;范润龙 | 申请（专利权）人： | 中国地质科学院地质研究所 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100037 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种双等离子体离子源及设备，该双等离子体离子源的中间电极的锥形的一端的顶部设有多个中间电极孔，该多个中间电极孔的半径位于0.2mm-0.3mm范围内，其圆心位于以该中间电极的锥形的一端的顶部中心为圆心、半径为0.5mm的圆上。采用本实用新型提供的方案，能够提高产生的离子束的亮度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双等离子体离子源 设备 | ||
【主权项】：
一种双等离子体离子源，其特征在于，所述双等离子体离子源的中间电极的锥形的一端的顶部设有多个中间电极孔，所述多个中间电极孔的半径位于0.2mm‑0.3mm范围内，其圆心位于以所述中间电极的锥形的一端的顶部中心为圆心、半径为0.5mm的圆上。
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