[实用新型]一种石墨基座有效
| 申请号： | 201320356785.7 | 申请日： | 2013-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN203367345U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 李西维;詹国彬 | 申请（专利权）人： | 上海东洋炭素有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/20 | 分类号： | H01L33/20 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 王光辉 |
| 地址： | 201611 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提出一种石墨基座，用于红黄光LED外延片外延生长的金属有机化合物化学气相沉淀反应室，其特征在于：石墨基座体上加工有多个口袋，所述口袋的底部边缘具有环形槽，所述环形槽的形状随口袋的形状变化而变化。本实用新型的技术方案通过在石墨基座的口袋底部边缘采用环形开槽，去除了外延片与石墨基座的接触，增加气体的进入，大大提高了衬底的温度均匀性，有效提高外延片的亮度均匀性，解决边缘效应从而提高产量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 基座 | ||
【主权项】：
一种石墨基座，用于红黄光LED外延片外延生长的金属有机化合物化学气相沉淀反应室，其特征在于：石墨基座体上加工有多个口袋，所述口袋的底部边缘具有环形槽，所述环形槽的形状随口袋的形状变化而变化。
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